Excillum 液态金属靶...

Excillum 液态金属靶光源 MetalJet D2参数指标

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技术参数


阳极靶材镓或铟的合金最小焦斑直径~ 5 μm
阳极类型液态金属射流光源强度稳定性< 1%
加速电压10-70/160 kV焦斑位置稳定性< 1 μm
功率0-300/640 W焦斑至样品的最小距离18 mm
最大管电流4.3 mA发散角13° / 30°


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