日本电子JIB-4700F双束扫描电镜系统（FIB-SEM)_ 参数_指标_优点_优势

参数指标

SEM
Accelerating voltage加速电压	0.1 to 30.0kV
Image resolution (at optimum WD)图像分辨率（zei优WD）	1.2nm (15kV, GB mode) 1.6nm (1kV, GB mode)
Magnification 倍数	x20 to 1,000,000 (LDF mode available)
Probe current 探针电流	1pA to 300nA
Detector (*option) 检测器	LED, UED, USD, BED, TED, EDS
Specimen stage 样品台	Computerized 6-axis goniometer stage X: 50mm, Y: 50mm, Z: 1.5 to 40mm, R: 360°, T: -5 to 70°, FZ: -3.0 to +3.0mm
FIB
Accelerating voltage 加速电压	1 to 30kV
Image resolution图像分辨率	4.0nm (30kV)
Magnification倍数	x50 to 1,000,000 (x50 to 90 obtained at 15kV or less)
Probe current探针电流	1 pA to 90 nA, 13 steps
Processing shapes by milling铣削加工形状	rectangle, line, spot, circle, bitmap

主要技术参数：

SEM
加速电压	0.1 ～ 30.0 kV
分辨率 (zei佳WD时)	1.2 nm (15 kV, GB模式) 1.6 nm (1 kV, GB模式)
倍率	x20 ～ 1,000,000 （采用LDF模式）
探针电流	1 pA ～ 300 nA
样品台	计算机控制6轴测角样品台 X: 50 mm, Y: 50mm, Z: 1.5 ～ 40 mm, R: 360°, T: -5 ～ 70°, FZ: -3.0 ～ +3.0 mm
FIB
加速电压	1 ～ 30 kV
图像分辨率	4.0 nm (30kV)
倍率	x50 ～ 1,000,000 (x50 ～ 90在加速电压为15kV以下时可以)
探针电流	1 pA ～ 90 nA, 13 档
加工形状	矩形、线、点、圆、位图