型号规格：PDC－BGL
整机规格：750×780×1660（长×宽×高）mm
整机重量：400 Kg
反应舱规格：600×470×470（长×宽×高）mm(不锈钢)反应舱有效容积：110 L
输入电源：380（三相）V／50Hz
整机输入功率：2500 W（含真空泵）
射频功率：0～1000Ｗ（连续可调）
射频频率：13.56 MHz
数字定时器：0～99.99 min
极限真空度： 50 Pa
浮子流量计： 0.1～1.6 L／min 量程
观察窗： 观察清洗舱内辉光状态
常用工作气体： 空气、氩气、氮气或混合气体等