zei高流速（氮气）：27 L/min(1031)、12 L/min（1031 Hi Flow）

zei高源气流速：46 L/min(1031)、26 L/min（1031 Hi Flow）

zei高废气流速：23 L/min(1031)、16 L/min（1031 Hi Flow）

zei大气体出口压力：110 psi

zei小空气入口流速：115 L/min

zei小/zei大空气入口压力：8.27 - 10.0 bar / 120 - 145 psi

zei大压降：8 psi

zei低/zei高操控温度：5ºC - 30ºC / 41ºF - 86ºF

颗粒：< 0.01μm

邻苯二甲酸酯：无

滞留液体：无

电源要求：无

尺寸（高×宽×深）：760 x 365 x 200 mm/ 29.9 x 14.4 x 7.8英寸

重量(kg/ lbs)：14 kg (30.8 lbs)

氮气压力露点：-40℃