S500热式质量流量控制器能够在较大的量程范围内在线实时地精确控制气流质量流量。利用气流流过不锈钢毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量；不同于测压力或测体积方法等类别流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。上下游温差测量电路信号实时反映气流瞬时流量，并通过PID电路实时控制比例电磁阀而精确控制流量，所以特别适用于过程控制中在线实时的气体流量的精确测量和控制。
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