镀铝膜测厚仪参数指标

被测薄膜尺寸：100mm±10%×200mm±10%
测量量程    ：厚度90～800Å （0.009～0.08µm）  方阻95～0.47Ω/□
测量准确度  ：厚度 ±(20Å+2%读数)  方阻 ±0.15Ω/□（在300～500Å范围）
读数重现性  ：10Å  (同一测量点)
仪器尺寸 ：120 x 320 x 400（毫米）
重量     ：毛重7公斤