真空度 <50mTorr

罐体容纳数: 4个(标准，可根据需要扩展至32个) 

加热方式:加热带(标配)、加热炉(选自己) 

清洗气体:超纯氨气或零空气 

电原电压 220V 50Hz  

功率 1kW