气路数量 2/3
测量量程
MFC1: 0/50…1000 ml/min,
MFC2: 0/25…500 ml/min,
MFC3: 0/12,5…250 ml/min (1013,25 hPa, 273,15 K)
控制与测量跨度 5 到 100 % 最大量程
混合和稀释比例 500 ml/min: 1:1 到 1: 40
精度 高于示值 1%
重复性 高于量程的0.1%
接触面材料 不锈钢 SS 316, 聚四氟乙烯
入口压强范围 0,5 – 3,0 bar
出口压强范围 比入口压强低 500mbar
压力影响性 在所属范围内可以忽略不计
气路连接类型 ?“-压缩配件
混合部分 外部
预热时间 30min
供电要求 110 – 240 V
机箱 可移动机箱
外形尺寸 260x170x210 mm (宽x高x深)