测量范围:0.02~50000cm3/m2·day·0.1Mpa (通过扩充体积上限可测试600000 cm3/m2·day·0.1MPa)测量精度: 0.01cm3/m2·day·0.1Mpa温度范围: 5~50℃ 湿度范围:0%RH,(5~100%RH选装)温控精度: ±0.01℃控湿精度:±2%RH真空精度:0.1Pa试验压力:-0.1~+0.1MPa试验气体:O2、CO2、N2等测试腔真空度:<20pa样品厚度:≤2mm