• 超纯水电阻率：18.2MΩ.cm @25℃

• 阴、阳离子（ppb）：<0.1

• 总有机碳（ppb）：≤ 5

• 细菌（cfu/1000mL）：<1

• 颗粒物（>0.22μm/mL）：<1

• 热源 ( EU/mL)： < 0.001