一、仪器描述
ATM-240L用于产生高浓度PSL小球气溶胶,依据VDI 3491(part 2)进行设计研发。
在半导体和航空航天行业中的高效过滤器的测试中,不能采用常见的油性气溶胶物质(DEHS、PAO等),即使很小的量也会存在滤材中或者排出从而导致对产品造成损伤,根据DIN EN 1822-4中滤材的测试用固体颗粒,经过对比,PSL是最好的用于测试PTFE高效滤膜的最好材料。
——较高的产生速率,最大1.5*1011/min。
——单分散气溶胶粒径分布
——满足检漏测试(U16级,滤纸样610mm*610mm,质量流量600m3/h)
——较少的水分摄入,无需干燥
——易于操作、清洁、保养
二、仪器应用
l 产生示踪粒子
l 测试HEPA和ULPA过滤器效率
l 测试大型洁净间VDI2083、DIN EN ISO14644
l 产生PSL小球