技术规格：

1. 旋转衬底最大尺寸：四英寸、六英寸、八英寸、十二英寸等；

2. 按客户需求提供整体解决方案，可以旋涂最小3mm， 最大1000mm衬底；

3. 从手动到全自动溶质分配的选择范围宽大；

4. 无振动转速最高5000RPM；

5. 真空吸附，无污染；

6. 台式匀胶机,占用空间小；

7. 具备耐化学性的无缝聚丙烯外罩，并且匀胶机主机易清洗；

8. 聚四氟乙烯（PTFE）的匀胶机可用于强腐蚀性化学材料；

9. 液晶显示屏人机界面，甚至带着手套都可以方便使用；

10.可以准确重复运行程序的数字程序控制系统；

11. 高度灵活的多重可编程步骤组成复合程序；

12. BLDC马达，高稳定性，无热量散发(优于DC马达)；