●  原子力显微镜扫描器zei大测量范围：110um X & Y range，22um Z range 
●  大尺寸样品台，全自动测量zei大直径为160mm样品。 
●  PZT/Voice Coil双模式技术AFM 
●  全自动运动平台，马达驱动 
●  zl批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像 
●  先进的32-bit DSP控制器，zl反馈技术(扫描范围>10um时zei高扫描20 Hz,消除爬行现象) 
●  可以进行纳米压痕和划痕实验 
●  zl光学系统， XY闭环扫描技术 
●  独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发