测量方法：

为了确保能直接溯源至NIST，这些产品获得认证的直径是通过投射电子显微镜，或光学显微镜由NIST标准参考物质2转移而得的。不确定度是根据NIST技术注释1297, 1994版―评估与表达NIST测定结果不确定度的导则3计算而得。认证证书中标明的不确定度值是采用覆盖因子2(K=2)扩展后的不确定度。

峰值直径是采用微粒尺寸分布±2s的范围计算而得。计算的尺寸分布作为峰值的标准偏移图。变异系数是指一个标准差与峰值直径的百分比。FWHM分布是半峰值高的分布占据峰值直径的百分比计算而得的。

1. ―半导体国际技术蓝图 (ITRS)‖, 半导体工业协会 (1999)

2. S.D. Duke 与 E.B. Layendecker, ―采用电子显微镜进行亚微球粒子的尺寸校准的国际标准方法‖, 精密粒子协会 (1988)

3. Barry N. Taylor 与Chris E. Kuyatt, ―评估与表达NIST测定结果不确定度的导则‖.NIST 技术注释 1297, 1994 版, 9月，1994.

技术参数

成分：聚苯乙烯

密度：1.05g/cm3

折射指数：1.59@589nm(25°C)

添加剂：无