高精度电子束曝光系统

高精度电子束曝光系统

产品型号:ELS-F125/F100/HS50
品牌:Elionix
产品产地:日本
产品类型:进口
原制造商:Elionix
状态: 在售
厂商指导价格: 未提供
英文名称:ELS-F125/F100/HS50
上市时间: 2014-09-02
优点: ELS-F125是Elionix推出的世界上首款加速电压高达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)
参考成交价格: 10~30万元[人民币] 查中标价
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