【技术特点】-- Advance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6

1.对尺寸达6英寸的晶圆进行高速热处理

2.采用水冷冷壁结构，无重金属污染，可高速冷却

3.真空更换后可提供各种气流；

4.通过您的电脑，您可以轻松输入温度程序和外部信号。 在加热过程中获取的温度数据可以显示在PC上。

5. 9区功率控制可实现良好的温度分布和可重复性。

6.石英室保护罩可用于防止室内污染（可选）。

【技术特点对用户带来的好处】-- Advance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6

【典型应用举例】-- Advance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6