参数
高精度测量系统选项 | 大范围相位延迟量测量选项 | |
相位延迟量范围: | 0.005 to 120+ nm | 0.005 to 300+ nm |
相位延迟量测量分辨率/ | 0.001 nm / ± 0.008 nm | 0.0 1 nm / ± 0.015 nm |
角度测量分辨率 / | 0.01o / ± 0.05° | 0.01o / ± 0.07° |
测量速率 / 时间4: | up to 100 pps / | |
尺寸: | 910 mm (H) x 415 mm (W) x 700 mm (D) | |
光源波长5: | Various (632.8 nm standard) | |
测量光斑6: | Between 1 mm and 3 mm native | |
内置测量调制频率: | PEMLabsTM Photoelastic Modulator | |
解调分析技术: | Hinds Instruments SignalocTM | |
测量单位: | nm (retardation), ° (angle) |