球面镜轮廓仪参数指标

光源波长：

632.8nm

样品准直：

使用两个光点

电源：

220V 50HZ/ 110V 60HZ

操作系统：

Windows7/10, 32/64bit

CCD分辨率：

1280*960像素

软件：

H&L-p数字化相移分析软件

精密度：

入/600 PV

重复性：

入/500 PV

重复性：

A/WOO RMS

透射球面镜精度：

A/10 PV

曲率半径监测范围：

2-500mm

检测效率：

20秒/次