系列 | AWAVE-EUV. | AWAVE-DUV | AWAVE-UV | AWAVE-GR | AWAVE-IR | |||||
型号 | AWAVE 209 | AWAVE 213 | AWAVE 263 | AWAVE 266 | AWAVE 351 | AWAVE 355 | AWAVE 527 | AWAVE 532 | AWAVE 1053 | AWAVE 1064 |
工作物质 | Nd:YLF | Nd:YAG or Nd:YV04 | Nd:YLF | Nd:YAG or Nd:YV04 | Nd:YLF | Nd:YAG or Nd:YV04 | Nd:YLF | Nd:YAG or Nd:YV04 | Nd:YLF | Nd:YAG or Nd:YV04 |
波长(nm) | 209 | 213 | 263 | 266 | 351 | 355 | 527 | 532 | 1053 | 1064 |
功率(W) | 0.05-0.1 | 0.05-1 | 0.5-3 | 0.5-3 | 0.5-6 | 0.5-15 | 2-20 | 2-30 | 2-20 | 3-40 |
重复频率(Hz) | 1-25k | 1-100k | 1-15k | 1-200k | 1-20k | 1-300k | 1-20k | 1-300k | 1-20k or CW | 1-300k or CW |
脉宽(ns) | 25-50 | 10-60 | 25-50 | 10-60 | 30-70 | 20-60 | 40-70 | 10-90 | 40-100 | 15-70 |
光束质量(M2) | <1.3 | <1.3 | <1.2 | <1.2 | <1.2 | <1.2 | <1.2 | <1.2 | <1.3 | <1.3 |
模式 | TEM00 | |||||||||
脉冲稳定性 | <3%RMS | <2%RMS | ||||||||
平均功率稳定性 | <3% 12小时内 |