R&D Cluster tools 研发用团簇_价格|仪器信息_导购

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R&D Cluster tools 研发用团簇

MVSystems 进口镀膜机

产品型号：Cluster

品牌：MVSystems

产品产地：美国

产品类型：进口

原制造商：MVSystems

状态：在售

厂商指导价格：未提供

英文名称：Cluster

上市时间： 2015-03-31

优点： R&D Cluster toolsCluster tool w/ 8 port locations具有8个腔室的团簇型沉积系统30x40cm substrate衬底尺寸为30x40cmComputer controlled可完全由电脑程序控制操作运行?PECVD, HWCVD and Sputter capability 制备方式包括等离子体和热丝化学气相沉积，及溅射。