InfiniteFocus SL光学三维刀具测量仪的部分技术参数：

位移范围（X/Y）:50mm×50mm(自动调节)

位移范围（Z）:130mm(26mm自动调节)

最佳垂直分辨率：20nm

最大扫描高度：25mm

最大操作距离：17.5（5×物镜）

最大扩展视野范围：2500mm2

最大单一方向测量范围：50mm

最小测量半径：2μm

最小测量楔角：20°

最小测量粗糙度（Ra）：80nm

最小测量粗糙度（Sa）：50nm