【技术特点】-- ADC100 直流放弧探测器

特征概览:

• 监测直流电源的电压及功率传输

• 高速采样频率，可达10万赫兹

应用：

• 用于探测半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD腔体工艺制程过程中等离子体放弧（Arcing）。

【技术特点对用户带来的好处】-- ADC100 直流放弧探测器

【典型应用举例】-- ADC100 直流放弧探测器