激光系统 | |||
最大能量 | 25mJ@ 266nm;能量输出 0-100%可调 | 重现率 | 20Hz,脉宽<6ns(FWHM),DI 水冷却系统 |
能量控制 | 光学衰减连续可变 | 光斑大小控制 | 35-250 微米可调(到达样品表面的烧蚀光斑直径) |
激光光闸 | 自动双光闸,稳定控制激光能量和 LIBS 信号测量 | 激光安全 | I 级,样品放置区域有滤光器,有激光锁定保护 |
检测器系统 | |
谱宽190-1040 nm | 测量过程不不受环境温度变化的影响 |
分辨率λ/Δλ高达 6000 | 光谱精度优于±0.05nm |
杂散光抑制 | 探测器门控 |
门延时为0.5ns-1ms | 分辨率 0.5 ns |
样品平台系统 | |
全自动 XYZ 行程 | XY 行程 100mmx100mm,Z 行程 35mm |
XY 行程分辨率 0.2um,Z 行程分辨率 0.2um | XY 行程重现率 0.2um,Z 行程重现率 0.2um |
速度 0.001-20 mm/s | 气压可控 |
样品放置区域有滤光器,有激光锁定保护功能 | 含高效空气颗粒清洁器 |
具备专配 670 纳米激光协助样品高度自动调整功能 | |
双 CMOS 相机,广角用于定位采样区域,高倍成像用于观察某一特定区域。并可在电脑屏幕上实时观察样品烧蚀过程 | |
样品池-可充氦气或氩气惰性气体保护;锂电池样品需要保持在无水,无氧的条件下进行测量。测量碳,氮,氧,氢,氟等元素时;样品池需要保持在氦气气氛中。 |
操作软件 | |
激光自动采样设置 | 单点、网格、光栅状、线性扫描或用户自定义设置 |
数据处理系统 | 包含谱线自动识别功能、光谱处理功能、LIBS 的强度监测、化学统计功能等 |
元素制图及深度分析控制 | 包含84种元素的Trulibs™光谱数据库和LIBS NIST 理论数据库(涵盖所有元素) |
设置预脉冲个数用来清洗样品表面污染物 | 高度自动化的测量功能 |
元素特征线的自动标定、标准曲线建立(单变量和多变量校准曲线)、主成分回归功能可用于样品分类 |