ATS-545-M

-75 至 + 225(50 HZ)
-80 至 + 225(60 HZ)
不需要LN2或LCO2冷却

-55至 +125°C
约 10 S 或更少
+125至 -55°C
约 10 S 或更少

4 至 18 scfm
1.9至 8.5 l/s

±1℃
通过美国NIST 校准

±0.1℃

T或K型
热电偶