技术指标

多镀层分析，1～5层

测试精度：0.001 μm

元素分析范围从铝(Al)到铀(U)

测量时间：10~30秒

SDD探测器，能量分辨率为125±5eV

探测器Be窗0.5mil（12.7μm）

微焦X射线管50kV/1mA，钼，铑靶（高配微焦钼靶）

6个准直器及多个滤光片自动切换

高清CCD摄像头（200万像素），准确监控位置

多变量非线性去卷积曲线拟合

高性能FP/MLSQ分析

仪器尺寸：450×520×385mm