IXRF磁控离子溅射仪MSP-2S/MSP-Mini参数指标

1.      阳极磁控型靶材水平装入：极低的放电电压减弱样品受到的例子损伤和热损伤；

2.      浮动样品台设计：使电流不通过样品，温度上升很少，同时减弱离子碰撞引起的损伤；

3.      操作简便：通过定时器控制从真空排气到启动放电电压的整个过程。