日立高新Regulus系列场发射扫描电子显微镜参数指标

*3 减速模式下观察

• *4 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率

主要参数：

　　*2 减速模式观察

　　*3 127 mm × 95 mm 视野的画面倍率

　　*4 5轴马达台为选配项

参考招标参数：中国科学院2018年仪器设备部门集中采购项目（第一批）

招标编号：OITC-G180260376-1

设备名称：高分辨扫描电子显微镜

技术要求

1工作条件：

1.1电压：220V (+/-10%)

1.2频率：50Hz (+/-1%)

1.3环境温度：20°C (+/- 5°C)

1.4相对湿度： < 60% RH

2  设备用途：

高分辨的场发射扫描电镜主要用于观察和分析材料的微观形貌，在超低电压下，依然保持极高的分辨能力；并且搭配能谱仪可以对材料同一微区进行形貌、成分分析。

3技术规格：

3.1电子光学系统（SEM）： 

*3.1.1 电子枪类型：场发射灯丝

# 3.1.2电子束分辨率（最佳工作距离）：

≤ 0.7nm @ 15kV；

≤ 0.9nm @ 1kV

3.1.3放大倍数（底片模式）：

最小放大倍数 ≤ 20X；

最大放大倍数 ≥ 2000kX；

3.1.4加速电压：

最小着陆电压 ≤0.01kV；

最大加速电压 ≥30kV；

3.1.5电子束流：1 pA-20 nA，且连续可变；

3.1.6工作距离：最小工作距离≤1.5mm；

最大工作距离≥40 mm；

3.1.6物镜光栏：具有自清洁功能，光栏孔≥4 个；

3.1.7电子枪寿命：保证使用5年；

3.2探测器：

3.2.1样品室二次电子探测器；

3.2.2样品室背散射电子探测器；

3.2.3镜筒内探测器1：二次电子探测器，可兼顾反映形貌衬度、成分衬度；

3.2.4镜筒内探测器2：二次电子探测器，可兼顾反映形貌衬度、成分衬度，并具有能量过滤功能； 

3.2.5样品室红外CCD探测器：至少1个；

3.3样品室及样品台：

3.3.1附件及探测器接口：≥10个；

3.3.2样品室空间：X、Y、Z≥250 mm；

# 3.3.3样品交换仓：可通过交换仓装入最大样品直径≥150mm；

3.3.4样品台 ：五轴全自动马达样品台；

# 3.3.5样品台行程：

X、Y轴行程：≥110 mm；

Z轴行程：≥40 mm；

T 轴行程： -5°～ +70°；

R轴行程：可360度连续旋转；

3.3.6最大样品尺寸：≥Φ150mm；

3.3.7样品座：具备单孔样品座、多孔样品座、多功能样品座、截面样品座；

3.3.8样品台减速模式：减速场可调范围不小于-3.5kV；

3.3.9样品防撞报警装置：具备；

3.3.10冷阱：具备；

3.4真空系统：

3.4.1完全无油真空系统；

3.4.2真空系统由涡轮分子泵，前级机械泵，和离子泵组成；

3.4.3电子枪真空度：优于10-7Pa

样品室真空度：优于10-4Pa ；

3.4.4真空计：全量程规≥1个，皮拉尼规≥2个；

3.4.5保护：自动真空抽气及诊断系统,具有断电、缺水、失真空保护系统；

3.5不间断电源：

3.5.1功率：≥10 kVA；

断电时可持续供电：≥0.5小时；

3.6控制和数据处理系统：

3.6.1基于Windows操作系统的64位图形用户界面、键盘、鼠标 

3.6.2多功能操作面板和轨迹球：具备，轨迹球可由操纵杆替代；

3.6.3图像显示：不小于24寸彩色显示器；分辨率不低于1280 x 960像素；

3.6.4图像储存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3480像素

3.6.5文件格式：TIFF，BMP或JPEG格式；

3.6.6计算机系统：工作站；光驱可刻录DVD； 

3.6.7可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿、漂移校正；

3.7消耗品（不含随主机标配件）：

3.7.1电子枪：≥ 1个（工程师上门免费更换电子枪及相关附件）

3.7.2物镜光栏：≥3套（工程师上门免费更换）

3.7.3轨迹球：≥2个

3.7.4样品台基座：≥2个

3.7.5样品台弹簧片：≥2套

3.7.6红外CCD：1套

4配套附属设备：

4.1双能谱系统（EDS）：1套（含一个普通能谱和一个高灵敏型能谱；）

4.1.1普通能谱：

4.1.1.1该设备为扫描电镜附属设备，用于高工作电压下材料的微区成分分析，所配能谱仪应与电镜主机配合，确认最佳安装条件，用以获得最优的性能表现；

4.1.1.2探测器有效面积：不小于100 mm2；

4.1.1.3制冷方式：电制冷；

4.1.1.4元素分析范围（Be4～Cf98）；

4.1.1.5能量分辨率：MnKa保证优于129 eV；

#4.1.1.6最大输出计数率优于600,000CPS，最大输入计数率优于1,500,000CPS

4.1.1.7谱峰稳定性：1,000cps到300,000cps，MnKa峰谱峰漂移：＜2.5eV； 

4.1.1.8可自动扣除背底，并支持用户手动调整；

4.1.1.9定性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围，可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离，并对重叠峰区域各种可能的元素进行搜索与再确认；

4.1.1.10定量分析：配备无标样和有标样定量方法；得到归一化和非归一化定量结果，可以用化学配位法得到非归一化结果；用户可编辑创建自有定量方法；

4.1.1.11可将电镜图像传输到能谱仪的显示器上，并以该图为中心做微区分析，包含点、区域定性定量分析；线扫描、定量线扫描；快速面分布、定量面分布以及存储每像素谱图的全息面分布，支持面分布的谱峰剥离；

4.1.1.12提供相似谱图匹配检索、漂移校正、偏聚元素自动分析软件功能。

4.1.2高灵敏型能谱：

4.1.2.1该设备为扫描电镜附属设备，用于低工作电压、低工作束流下材料纳米级微区成分分析，所配能谱仪应与电镜主机配合，确认最佳安装条件，用以获得最优的性能表现；

4.1.2.2探测器有效面积：不小于60 mm2；

4.1.2.3立体角：最大优于0.95 sr；

#4.1.2.4最大输出计数率优于1,600,000 CPS，最大输入计数率优于4,000,000 CPS；

4.1.2.5需同时满足4.1.1.3~4.1.1.12条款；

4.2离子溅射仪：1台

4.2.1该设备为扫描电镜样品制备设备，可在不导电样品上镀一层薄金属膜，用于扫描电镜观察；

4.2.2工作条件：

环境温度：15-30℃

相对湿度：≤85%；

4.2.3 样品仓尺寸：不小于150mm（内径）x 125mm（高）；

4.2.4靶面至样品台距离：可调范围为20-50mm；

4.2.5溅射电流：0-40mA；

4.2.6溅射时间：0~999s；

2.2.7溅射速率：（在压力为7Pa,放电电流40mA，靶材距离样品30mm时）Pt为 15nm/min，Au为35nm/min；

4.2.8最大样品尺寸：直径60mm，高度20mm；

4.2.9靶材：Au靶材一块，Pt靶材1块；

4.3电镜样品清洗装置（臭氧清洗仪）：2台

4.3.1该设备用于电镜样品制备，清洗电镜样品表面有机污染物

4.3.2样品尺寸1：直径100mm，高度37mm；

样品尺寸2：适用TEM、STEM、FIB样品杆；

4.3.3真空系统1：隔膜泵无油真空系统；

真空系统2：隔膜泵无油真空系统；

4.3.4真空范围1：100-500Torr；

真空范围2：10-500Torr；

4.3.5处理时间1：0-30min，可调幅度为1min；

处理时间2：0-30min，可调幅度为1min；

4.3.6工作模式：UV清洗和真空储存；

4.4主动式减震台：1台

4.4.1用于扫描电子显微镜的低频减震。主动检测输入震动并动态消除，从而减少对周围环境和设备的影响。

4.4.2压电陶瓷为减震原理的主动式减震器；

4.4.3主动补偿自由度 : 6；

主动减震范围 : 0.6 to 100 Hz；

4.4.42Hz以上减震幅度: >90%

静息时间 :<300 ms

动态范围 : 60 dB Max；

4.4.5系统载重范围 : 400 kg - 1200 kg；

最大位移: 10 Hz以下峰峰值30um；

4.4.6配置不低于TMC STACIS iX SEM-Base