参数规格
温度范围 | 3K to 475K(DC探针) 3K to 425K(MW 探针) (可选475K) |
温度稳定性 | +/- 50 mK |
降温时间 | ~30 min to 10 K, 60 min to 5 K |
振动范围 | +/- 25 nm |
位置漂移 | +/- 150 nm in 30 分钟 |
工作频率 | DC/LF 探针: DC to 10 MHz 微波探针: 0-40 GHz, 0-50 GHz, 0-67 GHz |
光学窗口 | 2.0“ 透明窗口 |
单像管光学分辨率 | 7:1 zoom, 4.2μm /12.5:1 zoom, 3.4μm /16:1 zoom, 2.2μm |
ST-500(-1/-2) | |
最大样品尺寸(直径) | (-1): 42mm (-2):52mm |
探测范围 | |
X-axis | (-1): 25mm (-2):50mm |
Y-axis | (-1): 25mm 15mm(使用MW探针) (-2):40mm 35mm(使用MW探针) |
Z-axis | (-1): 10mm (-2):18mm |
探针移动(刻度单位)X,Y,Z-轴 | (-1): 10μm (-2):12.5μm |
探针平动分辨率:X,Y,Z-轴 | (-1): 5μm (-2):6.25μm |
参数规格
温度范围 | 3K to 475K(DC探针) 3K to 425K(MW 探针) (可选475K) |
温度稳定性 | +/- 50 mK |
降温时间 | ~30 min to 10 K, 60 min to 5 K |
振动范围 | +/- 25 nm |
位置漂移 | +/- 150 nm in 30 分钟 |
工作频率 | DC/LF 探针: DC to 10 MHz 微波探针: 0-40 GHz, 0-50 GHz, 0-67 GHz |
光学窗口 | 2.0“ 透明窗口 |
单像管光学分辨率 | 7:1 zoom, 4.2μm /12.5:1 zoom, 3.4μm /16:1 zoom, 2.2μm |
ST-500(-1/-2) | |
最大样品尺寸(直径) | (-1): 42mm (-2):52mm |
探测范围 | |
X-axis | (-1): 25mm (-2):50mm |
Y-axis | (-1): 25mm 15mm(使用MW探针) (-2):40mm 35mm(使用MW探针) |
Z-axis | (-1): 10mm (-2):18mm |
探针移动(刻度单位)X,Y,Z-轴 | (-1): 10μm (-2):12.5μm |
探针平动分辨率:X,Y,Z-轴 | (-1): 5μm (-2):6.25μm |