技术参数：

磁控溅射系统标准配置

真空腔： 不锈钢箱型真空腔，前开门上安装一个4英寸观察窗
真空系统： 涡轮分子泵组，配前级旋片泵和各种阀门接头等，可获得10-7Torr的真空。
真空读出电路： 数字式全量程真空计
基片台：直径8”或更小尺寸基片台
磁控源： 单个或多个2英寸磁控枪
电源功率： 300W高压固态变功率电源
厚度监控器：石英晶体厚度监视器和速率控制器
尺寸：24” x 24” x 5’
重量： 500磅左右
质保：一年
货期：8周

选配：

真空腔：增加观察窗个数或增大观察窗尺寸
真空泵组：300-3000l/sec涡轮分子泵或冷凝泵，干泵或旋片泵
真空计：冷阴极或热阴极离子规
磁控源：磁控枪的尺寸和数量
电源功率：DC和RF电源，可选1000W甚至更大