方式

RIE模式/DP模式

性能

发生器功率：

0-500W

发生器频率：

射频RF13.56Mhz

发生器匹配方式：

自动匹配（Auto matching）

构成

腔体材质：

一体成型铝制腔体

腔体内尺寸：

W500×D300×H200mm

电极尺寸：

W400×D200

反应气体：

二路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体

控制显示方式：

液晶触摸屏、全自动控制

真空度显示：

数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。

反应气体流量控制：

MFC 质量流量计

门：

                                        铰链门带观察窗

外形尺寸：

W700×D700×H1285mm

真空泵：

干式真空泵 NEODRY 36E（油泵可选） 

真空泵抽速：

      36m³/h

电源规格：

                                       三相200V  8A

重量：

约180kg