分辨率： 0.144nm (晶格像)@120kV

加速电压： 40～120 kV (100 V/step连续可调)

放大倍率： (HC Zoom)    ×200～×300,000         (31步)

                  (HR Zoom)    ×2,000～×800,000      (26步)

                  (低倍模式)  ×50～×1,000

真空系统：标准配置涡轮分子泵、旋转泵