安东帕高温高真空超纳...
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技术指标

载荷
zei大载荷100 mN
载荷分辨率  6 nN


本底噪音  0.5 [rms] [μN]*
位移
zei大位移100 μm
位移分辨率0.003 nm
本底噪音0.15 [rms] [nm]*
 
极限真空度10⁷ mBar
zei高温度800 °C

*理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。



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