法向载荷 | 精细量程 | zei大量程 |
zei大载荷 [N] | 100 | 200 |
分辨率[mN] | 3 | 6 |
本底噪音 [rms] [μN]* | 1000 | |
划痕深度 | 精细量程 | zei大量程 |
zei大深度 [μm] | 100 | 1000 |
深度分辨率 [nm] | 1,5 | 15 |
本底噪音 [rms] [nm]* | 2.5 | |
摩擦力 | 精细量程 | zei大量程 |
zei大摩擦力 [N] | 100 | 200 |
摩擦力分辨率 [mN] | 3 | 6 |
声发射传感器
中心频率:150 kHz
动态范围:65 dBae
zei大放大倍数:200,000 x
划擦速度
从 0.4 mm/min 至 600 mm/min
划擦平台
划痕长度:zei大 70 mm
在线划痕检查:zei大 30 mm
划擦速度:0.4 mm/min 至 600 mm/min
*理想实验室条件下规定的本底噪音值,并使用减震台。