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主要技术参数
主机
| 电子枪 | 冷场发射电子枪 |
| 加速电压 | 200kV |
| 能量过滤器 | 柱体内Ω能量过滤器 |
| zei大样品倾斜角 | ±70o |
※ 热场发射电子枪也可以配置
样品台/自动样品更换系统
样品台
| 制冷方式 | 液氮、液氮自动供给系统 |
| 样品冷却温度 | 100k以下 |
| 温度测定位置 | 样品，cryoshield, LN2tank |
样品移动
| X, Y, Z方向 | X:Motor驱动（移动范围±1mm) Z:Motor驱动（移动范围±0.2mm) |
| 倾斜 | Motor驱动（倾斜范围±70o) |
| 样品旋转 | 0o或者90o |
| 换样装置 | 气锁方式， 自动控制冷冻传输系统 |
| 样品冷却温度（换样室） | 105k以下 |
| 换样量 | 一次zei多换4个样 |
| 样品台载样量 | zei多载样12个 |
参考成交价格：