【技术特点】-- AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜

高度可靠性

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优先考虑晶圆和操作者的安全

• 为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计。

• 在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。

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坚固、耐用的显微镜底座

AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法，包括：明视场、暗视场、微分干涉（DIC）、近IR（近红外线）和DUV（深紫外线），实现了卓越的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。

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人机工程学设计的载物台

• 手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。

• 可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。
  

【技术特点对用户带来的好处】-- AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜

【典型应用举例】-- AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜