工作台

玻璃台尺寸（mm）

570*470

运动行程（mm）

500* 400

Z轴电动升降行程(mm)

200

光栅尺分辨力(μm)

0.1μm

X、Y坐标示值误差(μm)

2.5+   L/75  (L为测量长度，单位mm)

影像系统

彩色1/2”CCD摄色机：；结合测量软件QMS3D-M

显微镜系统

三目头

目镜：10倍

滤光片：黄、绿、蓝、白

量测模式：反射，透射，偏光

5孔物镜转换镜

照明系统

透射照明光源：白光LED，亮度可调

同轴照明光源：12V 100W卤素灯，亮度可调

物镜

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距离 (mm)

18.0

15.0

4.5

11.0

总放大倍率

目视

50X

100X

200X

500X

19寸视频

301.625X

603.25X

1206.5X

3016.25X

高度量测模块

（选配件）

白光干涉高度测量模块(M10-CA),高度量测分辨率0.5 μm (选配):倍率10X，工作距离5mm，光学分辨力2um

其他参数

外形尺寸 (mm)

1270*1150*1860

仪器重量 (kg)

850

电源功耗

~220V    50/60Hz  < 60W(不包含计算机)