激光发射扫描电镜参数:

二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV，减速模式)
1.0nm (15kV)
电子光学：
电子枪: 冷场发射电子源
加速电压: 0.5~30kV(0.1KV/步，可变)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物镜光阑: 4孔，真空外选择和调校(内置加热器)
检测器: 二次电子检测器 (高位/低位)
背散射电子检测器(可选)
EDX(可选)
透射电子检测器(可选)
法拉第杯(可选)
阴极荧光检测器(可选)
样品台: l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驱动:手动(可选3轴驱动)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°
R: 360°驱动:PC机控制5轴驱动
图像显示:
操作/显示: PC/AT 兼容,
操作系统： WindowsTM 2000
18.1“ 平面显示器
扫描模式: 标准，Split/dual mag./linescan, position
set, spot, AAF, SAA, oblique
画面储存: 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840

图像编辑: 内置图像处理软件和图像编辑软件
图像文件格式: BMP, TIFF, JPEG
扫描速度: TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察
慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录
成像过程: 自动调节亮度和对比度
光栅旋转，自动聚焦，自动像散校正，
平均，帧积分，伪彩色显示
自动数据记录: 胶卷号，加速电压，微米标尺，放大
倍率，日期，时间，工作距离
电子图像移动: ±12u( W.D. = 8 mm)
真空系统: 完全气阀自动调节
离子泵 3 台
涡轮分子泵(磁浮型) 1 台
机械泵 1 台