1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑极为平坦、等离子体稳定时间极短，表面信息无任何失真。

2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜，也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。

3、Polyscan多道（同时）光谱仪可全谱覆盖，光谱范围从110nm-800nm，可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。

4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥有zei大的光通量，因而拥有卓越的光效率和灵敏度。

5、高动态检测器（HDD）可快速、高灵敏的检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5×10¹⁰。

6、宽大的样品室方便各类样品的加载。

7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告。

8、HORIBA独有的单色仪（选配）可极大地提高仪器灵活性，可实现固定通道外任意一个元素的同步测试，称为n+1。

9、适用于ISO14707和16962标准。