l集成的共聚焦3D显微镜,可以用nm分辨率表征抛光垫表面
l内联摩擦、声发射研究抛光过程
l内联温度传感器
l可安装多种晶圆尺寸
l可控制的下压力和速度
标准配置有X、Y平台,可在抛光和成像位置之间移动压板。此外,XY平台有助于在抛光过程中振荡晶圆。使用带有XY驱动器的压板允许多轴驱动组合来创建自定义运动,以模拟接近现实生产环境的测试条件。