人工晶片装载

台式CMP研发系统

l原位和非原位调节

l使用可编程泵的泥浆和水管

l高硬度和良好的力控制

l340mm的滚筒直径

l6英寸的样本

l原位摩擦和垫片磨损选

l打印尺寸 w870x，d800x，h870mm

l应用程序—CMP，MEMS，消耗品测试