技术指标

系统功能
         原子力显微镜(Atomic Farce Microscope, AFM )‘
         横向力/摩擦力显微镜(Lateral Force Microscope, LFM )‘
         扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope, 5TM )’

分辨率
         扫描隧道显微镜(S丁M):：横向0.1 nm,垂直0.01 nm
         原子力显微镜}AFM)：横向0.2nm.垂直0.1 nm

参数性能
         x 一y 扫乎苗范围：~10μm
         Z方向扫描范围：~2μm

         图像分辨率：128x1 28 , 256x256,  512x512,  1024x1024
         扫描角度：0~360°
         扫描频率：0.1~100Hz

主控制系统

         中央处理器：德州仪器(TI) 32位数字信号处理器(DSP)
         高速16-bit DAC
         高速16-bit ADC
         高压扫描驱动：5路APEX集成高压运算放大器
         通信接口： 1 0M/ 100M 快速以太网(Fast Ethernet 10/100)接口

机械性能
         样品尺寸:最大可达直径45mm，厚度15mm
          全自动步进电机控制进样系统:行程15mm，定位精度50nm/步
 

软件系统
        基干Windows XP/2000/9X 的在线控制软件和图像处理软件