泰思肯VEGA 3 LMU/LMH扫描电镜参数指标

技术参数：

1. 分辨率：

  高真空(二次电子3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv    

        (背散射电子)： 3.5 nm at 30 kV(LMH型选配，LMU型标配) 

  低真空(低真空二次电子)：3.5 nm at 30 kV (LMU型选配) 

2.放大倍数：2.5 to 1000000× 

3.真空系统：

高真空<9*10 -3Pa， 

低真空3~500Pa，(LMU型标配) 

超低真空可至2000Pa(LMU型选配) 

4.加速电压0.2kV to 30Kv 

5.电子束电流1pA—2uA 

6.样品室内部尺寸：230mm(width)×148mm(depth) 

7.样品台：全自动控制 

移动范围： 

X=80mm 马达控制 

Y=60mm 马达控制 

Z=47mm 马达控制 

R=360度连续式 马达控制 

T=-80 至 +80度 马达控制

*U型为高低可变真空，H型为高真空电镜

I.影像显示尺寸 

 1)实时图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。 

 2)储存图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9种方式。 

 3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。 

 4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。 

 II.扫描速度：从20ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。 

 III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。 

 IV.动态聚焦,点&线扫描 

 V. 图像处理(Image processing)：提供15种图像处理功能。 

 直方图(Histogram)