技术规格

窗帘气体（氮气）12 L/min @ 80 psi - 48 L/min @ 80 psi

离子化气（零级空气）26 L/min @ 110psi - 104 L/min @ 110 psig

吹扫气（零级空气）8 L/min @ 60psi - 32 L/min @ 60 psig

最大气体出口压力 110 psi

最小空气进口流量 120 - 145 psi 8.27 - 10.0 bar

颗粒 < 0.01 μm

最大压力下降 8psi

最小/最大空气进口压力 90 L/min - 380 L/min

最小/大工作温度 5ºC - 30ºC / 41ºF - 86ºF

邻苯二甲酸盐 无

尺寸规格（厘米/英寸）（宽x长x高）

NM20Z - 25 x 20 x 76 / 10 x 8 x 30

NM40Z - 25 x 20 x 69 / 10 x 8 x 28

NM60Z - 25 x 35 x 69 / 10 x 14 x 28

NM80Z - 25 x 25 x 120 / 10 x 10 x 44