VEGA3 GM是一款由计算机控制,可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝(选配LaB6)扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
分析潜力
GM样品室配备有5轴马达驱动样品台
多于20个接口,优化的几何设计更适合安装能谱仪(EDS)、波谱仪(WDX)、电子背散射衍射(EBSD)
一流YAG闪烁器式探头
可选各种探头和配件
涡轮分子泵和机械泵同时工作,几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态
在可变真空模式下可观测不导电的样品(XMU型号)
可选样品室减振方式
3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能
VEGA3配置
GM型号适合观测大样品。
VEGA3 GMH
超大样品室,高真空模式,适用于观测大型导电材料。
VEGA3 GMU
可变真空式扫描电镜,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品,不需要喷金。
二次电子探头(SE),ET型二次电子探头(YAG 闪烁体)
可移动式背散射电子探头(RBSE)*,可移动环行闪烁体类(YAG)具有高灵敏度和原子序数分辨率(0.1Z)
低真空二次电子探头
探针电流测量
压差式防碰撞报警装置
可观察样品室内部的红外线摄像头
冷台
等,各种配件可供选择
标配:
测量
图象处理
3维扫描
硬度测量
多图像校准
对象区域
自动关机时间
公差
编程软件
定位
投影面积
EasySEMTM
根据实际配置和需求