微生物<10cfu/ml(<1cfu/ml***)
颗粒物(>0.1μm)<1/ml
热源/内毒素<0.001EU/ml
总有机碳(TOC)<30ppb(<10ppb*)
重金属离子<0.1ppb
电阻率>10MΩ.cm
仪器种类纯水仪
纯水水质Ⅱ级水纯水器