一、pGas200-ASM-SC-6s 便携式气体检测仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
PH3-4PH:0.05-20ppm SiH4-4SL:0.05-50ppm AsH3-3E1:0.015-1ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC EC EC EC | 扩散式采样; 半导体车间全毒气报警, 有一定的区辩能力. Chlorides对HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有响应; Fluorides对HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有响应; Gas200通过标定系统甚至可能对H2B6.GeH4,H2Se进行定性定量探测. |
二、PGas200-ASM-SC_4s 便携式气体检测仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
Hydrides:0.05-50ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC EC | 扩散式采样; 半导体车间全毒气报警, 有一定的区辩能力. Chlorides对HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有响应; Fluorides对HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有响应; Gas200通过标定系统甚至可能对H2B6.GeH4,H2Se进行定性定量探测. |
三、PGas200-ASM-SC_3s1 便携式气体分析仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
Hydrides:0.05-50ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm | EC EC EC | 扩散式采样; 半导体车间全毒气报警
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四、 PGas200-ASM-SC_3s2 便携式气体检测仪
技术参数 | 技术 | 说明 |
Hydrides:0.05-50ppm TOX:0-30ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC | 扩散式采样;半导体车间全毒气报警 TOX-ADS02 对氯化物,氟化物,溴化物,硫化物,胺,苯类皆有高灵敏度响应. |
*其中H代表氢化物;Cl代表氯化物,包括氯化氢; F代表氟化物,包括氟化氢;