技术参数 | TMA 402 F1 Hyperion® | TMA 402 F3 Hyperion® |
zei大测量长度 | 30 mm | 30 mm |
测量范围 | ± 2.5 mm | ± 2.5 mm |
位移分辨率 | 0.125 nm | 0.125 nm |
负载力 | 0.001N .. ±3N(步长 0.2mN) | 0.001N .. ±3N(步长 0.2mN) |
力的分辨率 | < 0.01 mN | < 0.01 mN |
调制作用力 | 可达 1 Hz | - |
真空度 | < 10-4<-sup> mbar | < 10-2 mbar |
气路设计 | 两路吹扫气,一路保护气 | 两路吹扫气,一路保护气 |
质量流量控制器(MFC) | 标配 | 选件 |
不同温度下的标准系统配置 | |
-150°C - 1000°C | 不锈钢炉体,液氮制冷系统,熔融石英样品支架,K 型热电偶 |
RT - 1550°C | SiC 炉体,Al2O3 样品支架,S 型热电偶 |
特殊规格可定制 |