微米尺度空间分辨率LIBS测试系统―MEEPLIBS参数指标

     MEEPLIBS可以在微米尺度上做空间分辨的元素分析，实现了与传统的显微镜实现完美结合，标准分析口径大小为15微米和18微米（zei小可做到4微米），可在室温大气环境中测试，也可在特定的环境中测试。
 广泛应用于半导体材料、面板材料的微米尺度空间分辨率的实时元素分析。
   系统特点：
 光源：266nm紫外激光光源
 具有配衰减器的激光光束整形功能，激光功率软件可调
 可实现探测系统的自动温控
 系统中配置摄像机，用户可实时观测测试的样品区域
 配置电动三维调节台用来精确校准激光聚焦位置、提高实验可重复性精度，可对样品进行序列测量
 能分析测量包括质量zei轻的所有元素
 无须样品预处理，快速检测