台阶测量仪参数指标

技术规格 
类型 项目 规格 
综述 小范围XY扫描头，提供高精确度 
XY平台扫描，提供大尺度测量 
带亮场和暗场的全时彩色CCD照相机 
软件控制触针测量力，范围 0.1-100mg 
触针针尖半径选件 2μm，5 μm，12.5 μm和25 μm，0.1-0.8μm可选 
针尖扫描 
(Piezo扫描器) 台阶高度重现性 0.6nm 
垂直分辨率 0.1nm 
测量高度精细范围 5μm 
测量高度粗略范围 0.5mm 
XY扫描分辨率 0.1μm 
XY扫描定位重现性 0.2μm 
扫描速度 10-50μm/sec 
扫描范围 10-500μm 
每次扫描数据点 100-1000数据点 最多至110000数据点
样品台扫描 XY样品区域 100mm X 100mm, 150mm安装间隙 
XY平台运动范围 100mm X 100mm（150mm X 150mm） 
XY平台定位重现性 5μm，2μm可选 
最大扫描长度 50mm 
扫描速度 0.1-5mm/sec 
Z平台范围 55mm 
最大样品高度 50mm 
手动旋转平台范围 360度 
手动倾斜平台范围 ±2度 
标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证） 100μm 
系统 光学照相机视场范围 1.5 X 1.5mm 
光学照明 软件控制暗场和亮场 
电脑 Pentium IV, USB2.0联接 
操作系统 Win XP 
系统动力需求 90-240V，350W 
空间尺寸 20’’ 宽X 22’’长 X 25’’高 
重量 160lb