日本电子JSM-7500F 冷...

日本电子JSM-7500F 冷场发射扫描电子显微镜参数指标

参数指标我要纠错


电子枪冷场发射 
物镜semi-in-lens物镜
分辨率1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV
加速电压0.1~30kV
束流1pA ~ 2nA
自动光阑角zei佳控制透镜内置
倍率x 25 ~ x 1,000,000
检测器高位检测器(SED)
低位检测器(LED)
能量过滤器r-能量过滤器
Gentle Beam模式内置
样品交换室内置(具有干燥氮气导入功能)
气锁式、可交换的zei大样品:φ100mm×40mmH
样品台5轴马达驱动、全对中测角样品台
样品移动范围X: 70 mm , Y: 50 mm,Z: 1.0~25 mm,倾斜:-5~70°, 旋转: 360°
  • 选配*

  • 可插拔式背散射电子检测器

  • In-lens背散射电子检测器

  • 能谱仪(EDS*,**)


  • 每小时CO2的排放量每年CO2的排放量
    正常运行时0.481kg4,214kg
    休眠模式时0.411kg-
    真空系统关闭时
    (打开离子泵)
    0.286kg-



二次电子像分辨率1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV)
倍率×25 ~ ×1,000,000
加速电压0.1kV ~ 30kV
束流电流1pA ~ 2nA
自动光阑角zei佳控制透镜内置
检测器高位检测器
低位检测器
能量过滤器新型 r-过滤器
Gentle Beam (GB模式即柔和光束)内置
数字图像1,280×960 像素, 2,560×1,920 像素,
5,120×3,840 像素
样品交换室一步到位式交换功能内置
样品台全对中、5轴马达驱动
 型号IAIIIII
 X-Y70mm×50mm110mm×80mm140mm×80mm
 倾斜-5 ~ +70°-5 ~ +60°-5 ~ +60°
 旋转360° 360° 360° 
 工作距离1.5mm ~ 25mm1.5mm ~ 25mm1.5mm ~ 25mm
真空系统SIP 3台、磁悬浮TMP、RP、前置阱
节能设计正常运行时: 1.2kVA
休眠模式时: 1kVA
操作系统关闭时: 0.76kVA



耗电量换算成CO的排放量


每小时CO2的排放量每年CO2的排放量
正常运行时0.481kg4,214kg
休眠模式时0.411kg-
真空系统关闭时
(打开离子泵)
0.286kg-



主要选配件

  • 可插拔式背散射电子检测器

  • in-lens背散射电子检测器

  • 能谱仪(EDS)

  • 电子背散射衍射系统(EBSD)

  • 透射电子检测器

  • 液氮冷阱


  分辨率:1.0nm at 15kV;1.4nm at 1kV

  加速电压:0.1KV-30kV

  放大倍数:25-100万倍

  样品室尺寸:zei大200mm直径样品

  束流强度:10-13到2X10-9






相关扫描电镜SEM